高端电子工艺装备

【1】集成电路装备

产业介绍：电控公司的集成电路装备以七星电子（北方微）（A股代码：002371）为载体，借助上市平台和国家重大科技专项加快产业发展，产品以集成电路设备为主，并结合市场需求向光伏、先进封装、LED、MEMS、光波导、功率器件和化合物半导体等应用领域拓展。七星电子（北方微）先后承担11项国家重大科技02专项，技术水平快速提升，填补了国内12英寸高端刻蚀机、PVD、CVD、氧化炉、清洗机等设备技术空白，大部分产品实现了28nm的产业化认证，刻蚀机、PVD已开始14nm技术的研发。 

12英寸28nm刻蚀机、PVD、氧化炉等设备均已进入了国内知名集成电路制造企业大生产线，多款产品已成为LED、先进封装、MEMS等泛半导体领的主流产品，市场开拓工作成效显著。其中12英寸、28nmHardMask PVD设备及12英寸55nm硅刻蚀设备已作为中芯国际的Baseline设备。

重要产品：刻蚀设备（Etch）、化学气相沉积设备（CVD）、物理气相沉积设备（PVD）立式炉、LPCVD、超精细清洗机、ALD设备。 

【2】锂电装备

北京电控可提供全套的锂离子电池极片生产所需的搅拌、涂布、辊压、分切设备。

成功研制大容量的（400L、600L、800L、1000L、2000L）搅拌设备，已掌握自动上料技术、搅拌过程程序化控制、搅拌料评价等技术；成功开发出了挤出式涂布设备，涂布速度10-20m/min（最高达到30m/min）。成功开发出了液压伺服辊压设备，极片轧制速度达到20-30m/min（最高达到60m/min），掌握了极片热轧技术、辊电镀技术、AGC液压伺服控制型等核心技术。

分切设备可分切卷材宽度达700mm，生产效率达到50m/min（最高水平达到80m/min），并开发了设备CCD测控系统降低了产品废品率。于此同时，成功的搭建了20000Ah锂离子动力电池中试线，为自产设备提供了工艺验证平台，具备提供整线解决方案的能力。