七星流量计荣获第三届“IC创新奖”

5月16日，2020集成电路产业链协同创新发展交流会在北京和上海两大主会场举行，会上颁发了第三届集成电路产业技术创新奖（IC创新奖），以鼓励集成电路技术创新、成果产业化、产业链上下游合作。北京七星华创流量计有限公司研制的“CS300压力不敏感气体质量流量控制器”获得技术创新奖。

“CS300压力不敏感热式气体质量流量控制器”采用全金属密封的结构、热式传感器测量技术及压力补偿算法，可以精准地对被控气体进行测量与控制，以满足半导体产业的需要，在半导体和集成电路工艺等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。该产品各项技术指标达到国外同类产品的技术水平，填补了国内在该技术领域的空白，现已经在大规模集成电路行业实现批量应用。该产品是七星流量计技术团队为满足客户的工艺需求，精心钻研、刻苦研发而成的，他们从产品的设计结构、测控算法等方面入手，经过无数次假设论证、推翻重设，并对产品原材料进行了严苛筛选，对每个部件进行了精心测试。

多年来，七星流量计始终致力于推动我国集成电路核心部件的国产化，专注于气体流量测控技术研发，为集成电路设备企业提供高精度高稳定的优质气体流量测控产品，目前已经推出30多种产品，累计销售超35万台，为半导体、燃料电池、太阳能、真空镀膜、分析仪器等行业客户提供定制化气体测控解决方案及产品维护服务。