北方华创主导编写的负压扩散炉SEMI光伏标准发布

“SEMI中国光伏标准技术委员会2018年度春季会议”日前在上海召开，北方华创作为SEMI中国光伏标准技术委员会的核心委员单位参加了会议。

本次会议上，北方华创主导编写的SEMI标准《Guide for Specifying Low Pressure Horizontal Diffusion Furnace》（SEMI标准号：SEMI PV 81-0318，中文名：用于规范负压卧式扩散炉的指南）正式发布，SEMI中国光伏标准技术委员会主席张光春先生为北方华创颁发了《SEMI标准发布证书》《SEMI标准出版证书》。该标准于2015年3月由北方华创牵头组织编写，期间经过多轮讨论与完善，于2017年10月SEMI光伏标准秋季会议上通过最后一轮全球投票，在完成SEMI标准最后的Audit & Review流程审核后向全球发布。

SEMI中国光伏标准技术委员会成立于2011年12月，截至目前，已发布了25项SEMI国际产业标准，另有18项标准正在制定中，SEMI中国“光标委”已经成为全球最大最活跃的标准委员会。

北方华创一直积极参与SEMI标准的制定，到目前为止，共参与制定SEMI半导体标准3项、SEMI光伏标准2项，代表国内企业积极在全球半导体及光伏行业发出中国声音。

负压扩散炉SEMI标准参编单位包括晶澳、阿特斯、天合等下游电池和组件企业，以及相关的设备企业。负压扩散炉SEMI标准的发布，说明中国光伏生产设备相关指标达到国际先进水平，具备全球标准的制定能力。北方华创是国内领先的半导体设备制造企业，利用集成电路设备技术的延伸应用，大力发展与提升光伏、LED等泛半导体设备，成为高端设备的代表企业之一，其中负压扩散炉、LED刻蚀机、LED PVD技术指标及工艺性能处于国际领先水平，可替代进口产品，成为下游用户的主要供应商。