北方华创第100台氮化铝PVD设备顺利交付

日前，北方华创第100台AlN PVD设备顺利出货，发运客户生产线。

NAURA AlN PVD设备，是继ELEDETM系列刻蚀机、EPEE系列PECVD设备之后，北方华创在LED领域第三个突破百台大关的单系列产品，它不仅是中国自主知识产权高端装备打破国际大厂技术垄断、实现与国际同行同时发布的创新见证，更彰显了LED高端装备制造的中国实力。如今，100台的出货交付，是其市场认证最有效的名片，是其工艺性能更有竞争力的佐证，更预示着其未来市场更多的机会，更多的100台。

NAURA iTops A230系列AlN PVD是应用于GaN基LED制程的薄膜缓冲层沉积设备，其可提高缓冲层与GaN外延层的晶格匹配度，提高LED产品的输出效率；拓宽MOCVD设备的工艺窗口，使产品的ESD测试通过率大幅提高；降低MOCVD的外延生长时间，提高产能，使整线的生产成本降低。自发布以来，NAURA AlN产品先声夺人，凭借其优异的工艺性能、技术稳定性和极具竞争力的CoO，在LED市场收获超高占有率和客户认可度，成为产业当之无愧的明星产品。