七星电子12吋清洗机累计流片量突破50万片大关

2016年12月，七星电子自主研发的Saqua系列12吋清洗机，在中芯国际完成52万片生产线流片，创造了国产12吋集成电路清洗设备流片量纪录，设备的工艺性能及可靠性获得用户肯定。

作为公司集成电路装备产品体系的重要一员，Saqua系列清洗机产品，是七星电子自主研发、具有完全自主知识产权的新一代高端清洗工艺设备，应用于IC制造中铜互连清洗工艺。设备采用全新的模块化设计理念，通过了65纳米/55纳米/40纳米大生产工艺验证，各类指标优异。

长久以来，工艺水平和可靠性是困扰国产集成电路装备走向规模应用的两大难题。本次七星电子Saqua系列清洗机成功实现大规模流片，标志着公司设备在具备了生产工艺能力的基础上，通过了严酷的大生产线验证，在生产效率、稳定性、可靠性等方面实现了与进口设备相媲美的技术水平。

作为中国自主研发高端半导体制造工艺装备的先行者，七星电子秉承“精良品质、卓越服务”的经营理念，始终致力于为客户提供先进的工艺设备成套解决方案。未来，公司将持续创新，不断提升产品品质和服务质量，打造民族品牌，助力国产集成电路制造装备的新跨越。